電子半導(dǎo)體
方案概述
方案優(yōu)勢(shì)
相對(duì)于傳統(tǒng)清掃方式在溫度、氣流、噪音、振動(dòng)、靜電等多方面對(duì)電子半導(dǎo) 體車間內(nèi)部環(huán)境產(chǎn)生破壞,SINOVAC負(fù)壓清掃系統(tǒng)在整個(gè)流程中滿足電子半導(dǎo)體車間嚴(yán)格的要求：
負(fù)壓真空吸塵系統(tǒng)主機(jī)位于電子半導(dǎo)體車間之外，不會(huì)影響到其內(nèi)部環(huán)境
清掃管道，通過(guò)熱縮套管+金屬抱箍連接,密封不漏氣,不會(huì)對(duì)電子半導(dǎo)體 車間內(nèi)氣流產(chǎn)生破壞
清掃軟管、管道采用防靜電設(shè)計(jì),滿足電子半導(dǎo)體車間要求
負(fù)壓清掃系統(tǒng)根據(jù)業(yè)主要求專門設(shè)計(jì)的吸頭，在提供足夠風(fēng)速吸走所有室內(nèi)灰塵的同時(shí),只產(chǎn)生輕微的氣流聲,不影響電子半導(dǎo)體車間噪音控制 負(fù)壓清掃系統(tǒng)工作時(shí)吸入的氣流有限，因此也不會(huì)影響電子半導(dǎo)體 車間內(nèi)的正壓保持。
（一）系統(tǒng)整體架構(gòu)設(shè)計(jì)
本負(fù)壓真空吸塵系統(tǒng)采用集中式負(fù)壓除塵架構(gòu)，核心由真空主機(jī)機(jī)組、多級(jí)過(guò)濾單元、防靜電輸送管網(wǎng)、定點(diǎn)吸塵終端、智能控制與安全防護(hù)模塊五大部分組成，全程采用負(fù)壓密閉運(yùn)行模式，確保粉塵在收集、輸送、過(guò)濾、清運(yùn)全流程中無(wú)泄漏、無(wú)擴(kuò)散。系統(tǒng)依托真空主機(jī)產(chǎn)生穩(wěn)定負(fù)壓，通過(guò)預(yù)埋在車間的專用管網(wǎng)，連接各生產(chǎn)工位、設(shè)備周邊的吸塵終端，實(shí)現(xiàn)定點(diǎn)、移動(dòng)式粉塵收集；收集的粉塵經(jīng)多級(jí)過(guò)濾分離后，潔凈空氣達(dá)標(biāo)排放，粉塵密閉收集清運(yùn)，適配半導(dǎo)體車間連續(xù)化、精細(xì)化生產(chǎn)需求。
（二）核心組件選型與設(shè)計(jì)
1. 真空主機(jī)機(jī)組
選用無(wú)油渦旋真空主機(jī)，杜絕傳統(tǒng)真空泵油污泄漏污染潔凈車間的問(wèn)題，適配半導(dǎo)體車間高潔凈要求；主機(jī)具備穩(wěn)定負(fù)壓輸出能力，根據(jù)車間面積、工位數(shù)量、粉塵濃度定制負(fù)壓參數(shù)，保證各吸塵終端吸力均衡；電機(jī)防護(hù)等級(jí)達(dá)IP65，適配車間溫濕度環(huán)境，搭配降噪設(shè)計(jì)，運(yùn)行噪音控制在行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)，不干擾車間正常生產(chǎn)作業(yè)；同時(shí)預(yù)留冗余功率，滿足車間后期產(chǎn)能擴(kuò)容、工位調(diào)整的除塵需求。
2. 多級(jí)精密過(guò)濾單元
針對(duì)半導(dǎo)體粉塵粒徑細(xì)微的特點(diǎn)，采用三級(jí)遞進(jìn)式過(guò)濾設(shè)計(jì)，兼顧過(guò)濾效率與濾芯使用壽命：一級(jí)為初效過(guò)濾，攔截5μm以上粗顆粒粉塵，避免大顆粒磨損后續(xù)濾芯；二級(jí)采用H13級(jí)HEPA高效濾芯，精準(zhǔn)截留0.3μm以上細(xì)微粉塵，過(guò)濾效率≥99.97%；三級(jí)配置U15級(jí)ULPA超高效濾芯，針對(duì)0.1μm以下亞微米級(jí)粉塵，過(guò)濾效率≥99.9995%，完全滿足ISO Class 5級(jí)以上潔凈車間除塵標(biāo)準(zhǔn)。過(guò)濾單元配備壓差報(bào)警裝置，濾芯堵塞時(shí)自動(dòng)預(yù)警，便于及時(shí)維護(hù)，保障除塵效率。
電子半導(dǎo)體負(fù)壓真空吸塵系統(tǒng)方案核心優(yōu)勢(shì)
1. 潔凈治理精準(zhǔn)適配，保障產(chǎn)品良率
區(qū)別于傳統(tǒng)除塵方式，本系統(tǒng)采用全負(fù)壓密閉設(shè)計(jì)+超高效過(guò)濾組合，可徹底清除亞微米級(jí)細(xì)微粉塵，無(wú)二次揚(yáng)塵、無(wú)油污污染、無(wú)金屬離子析出，完全契合電子半導(dǎo)體車間超高潔凈度要求，有效減少粉塵對(duì)晶圓、芯片等產(chǎn)品的污染，大幅降低因粉塵導(dǎo)致的產(chǎn)品次品率，助力提升生產(chǎn)良率與產(chǎn)品品質(zhì)。
2. 安全性能全面升級(jí)，規(guī)避生產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn)
針對(duì)性解決半導(dǎo)體車間粉塵靜電、易燃易爆痛點(diǎn)，全程防靜電設(shè)計(jì)+防爆防護(hù)配置，從粉塵收集、輸送到過(guò)濾全流程消除安全隱患；同時(shí)無(wú)油主機(jī)、密閉清運(yùn)設(shè)計(jì)，避免粉塵接觸明火、靜電引發(fā)事故，保障車間作業(yè)人員人身安全與生產(chǎn)設(shè)備安全，筑牢安全生產(chǎn)防線。
3. 運(yùn)行高效運(yùn)維便捷，降低綜合成本
系統(tǒng)負(fù)壓吸力穩(wěn)定，可實(shí)現(xiàn)多工位同時(shí)除塵，清掃效率遠(yuǎn)高于人工與傳統(tǒng)設(shè)備，節(jié)省人力成本；模塊化設(shè)計(jì)+智能自清、預(yù)警功能，濾芯使用壽命更長(zhǎng)，檢修、更換、粉塵清運(yùn)操作簡(jiǎn)便，減少停機(jī)維護(hù)時(shí)間；無(wú)油主機(jī)能耗更低，運(yùn)行損耗小，長(zhǎng)期使用可大幅降低設(shè)備運(yùn)維、能耗、次品損耗等綜合成本。
4. 柔性適配性強(qiáng)，貼合車間發(fā)展需求
管網(wǎng)模塊化、主機(jī)冗余功率設(shè)計(jì)，可靈活適配車間產(chǎn)能擴(kuò)容、設(shè)備布局調(diào)整、生產(chǎn)工藝升級(jí)等變化，只需增設(shè)吸塵終端、微調(diào)管網(wǎng)即可滿足新的除塵需求，無(wú)需整體改造；同時(shí)系統(tǒng)運(yùn)行噪音低、無(wú)占地干擾，不影響車間原有生產(chǎn)布局與作業(yè)流程，適配各類電子半導(dǎo)體生產(chǎn)車間的除塵治理需求。
5. 合規(guī)達(dá)標(biāo)性高，契合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
系統(tǒng)設(shè)計(jì)嚴(yán)格遵循電子半導(dǎo)體行業(yè)潔凈車間規(guī)范、粉塵防爆安全規(guī)程、環(huán)保排放要求，過(guò)濾排放、安全防護(hù)、潔凈度控制等各項(xiàng)指標(biāo)均達(dá)標(biāo)，既滿足車間內(nèi)部生產(chǎn)治理需求，又符合環(huán)保、安全生產(chǎn)監(jiān)管要求，助力企業(yè)合規(guī)生產(chǎn)、綠色制造。
